L’EPMA funziona bombardando un micro-volume di un campione con un fascio di elettroni focalizzato (energia tipica = 5-30 keV) e raccogliendo i fotoni a raggi X così emessi dalle varie specie elementali. Poiché le lunghezze d’onda di questi raggi X sono caratteristiche delle specie emittenti, la composizione del campione può essere facilmente identificata registrando spettri WDS (Wavelength Dispersive Spectroscopy).
Gli spettrometri WDS funzionano in base alla legge di Bragg e utilizzano vari monocristalli mobili e sagomati come monocromatici.
L’EPMA è un metodo completamente qualitativo e quantitativo di analisi elementare non distruttiva di volumi di dimensioni micron sulla superficie dei materiali, con sensibilità a livello di ppm. La quantificazione di routine all’1% di riproducibilità si ottiene per diversi giorni. È la tecnica di microanalisi più precisa e accurata disponibile e tutti gli elementi da B a U e superiori possono essere analizzati.
L’EPMA è pienamente compatibile con le sessioni di analisi di routine, con un’interpretazione semplice e diretta dei risultati.