Lo sputter coater DST1-170 è un sistema che produce rivestimenti compatti in grado di sputterare metalli, adatto a periodi di deposizione di breve durata. Il DST1-170 è in grado di depositare film sottili uniformi con granulometria fine in un tempo di ciclo rapido.
Il modello DST1-170 è uno sputter da tavolo adatto alla preparazione di campioni al microscopio elettronico a scansione (SEM). Può depositare un’ampia gamma di materiali ossidanti e non ossidanti, come oro (Au), lega di platino/palladio (Pt/Pd), argento (Ag), cromo (Cr), tungsteno (W), iridio (Ir), ecc. Offre film uniformi di alta qualità con granulometria fine, adatti a campioni che richiedono una caratterizzazione ad alta risoluzione e di alta qualità come FE-SEM, EDS/WDS, TEM e EBSD.
La camera da vuoto è realizzata in Pyrex cilindrico. Il DST1-170 è dotato di una pompa turbomolecolare da 90 L/s, supportata da una pompa a palette rotative a due stadi da 6 m³/h, che assicura un vuoto pulito senza contaminazioni d’olio.
Il DST1-170 è equipaggiato con un touch screen a colori da 7” e un controllo completamente automatico tramite un software intuitivo che permette di monitorare e regolare i parametri di deposizione. Le informazioni sul processo di vuoto e rivestimento possono essere visualizzate come dati digitali o curve sullo schermo. Inoltre, le ultime 300 deposizioni vengono archiviate nella cronologia e possono essere trasferite su PC tramite porta USB.
Il DST1-170 può essere configurato con diversi tipi di supporti per campioni, in base alle esigenze dell’utente. Il supporto standard è rotante, con altezza e angolazione regolabili, facilmente intercambiabile. Per la deposizione uniforme su campioni porosi, è disponibile un piatto rotante planetario.
Il DST1-170 è la soluzione ideale per chi cerca uno sputter compatto e performante per la deposizione di film sottili con elevata precisione.