Il DST3 è uno sputter coater a triplo target con pompa turbomolecolare, progettato per la deposizione di un’ampia gamma di materiali. È dotato di una camera da 300 mm di diametro e di tre catodi da 2” raffreddati ad acqua, che lo rendono adatto a deposizioni prolungate.
Il sistema è compatibile con alimentazione DC e RF, consentendo la sputterizzazione di metalli, semiconduttori e dielettrici, inclusi materiali nobili e ossidabili.
È disponibile in due configurazioni. Il modello DST3-A è dotato di tre catodi inclinati su un punto focale comune, permettendo di sputterare fino a tre materiali contemporaneamente. In questa configurazione, il sistema supporta campioni fino a 3 pollici di diametro. Il modello DST3-S ha tre catodi dritti, consentendo la deposizione uniforme su campioni fino a 20 cm di diametro o su più piccoli campioni contemporaneamente.
Il DST3 offre un controllo intuitivo tramite un touchscreen da 7”, che permette di gestire e monitorare i parametri di deposizione. Il sistema salva automaticamente gli ultimi 300 processi, che possono essere consultati e trasferiti tramite porta USB.
Il sistema di vuoto è composto da una camera in Pyrex e acciaio inossidabile, con possibilità di estensione in altezza. È dotato di una pompa turbomolecolare da 90 L/s, che può essere supportata da una pompa rotativa da 6 m³/h. Il porta-campioni è disponibile in due misure: 3 pollici (compatibile con DST3-A e DST3-S) e 8 pollici (solo DST3-S), con possibilità di personalizzazione in base alle esigenze dell’utente.
Il dispositivo può essere equipaggiato con un plasma cleaner opzionale, che consente il trattamento del substrato prima della deposizione. In questo modo rimuove contaminazioni superficiali e migliorando l’adesione del film sottile.
Il DST3 sputter coater rappresenta una soluzione avanzata per la ricerca e la produzione di film sottili di alta qualità, offrendo versatilità e precisione nei processi di deposizione sottovuoto.