Il CIQTEK DB550 è un microscopio elettronico a scansione a emissione di campo (FE-SEM) con colonna a fascio ionico (FIB) progettato per l’analisi nanometrica e la preparazione dei campioni. Grazie alla tecnologia ottica “super tunnel”, assicura elevate capacità analitiche su scala nanometrica, con il vantaggio della modalità “low voltage, high resolution”.
La colonna FIB integra una sorgente di ioni liquidi Ga+, offrendo alta stabilità e qualità del fascio per lavorazioni nanometriche. La risoluzione raggiunge 3 nm a 30 kV, con una corrente di sonda regolabile tra 1 pA e 65 nA e un intervallo di tensione di accelerazione da 0,5 kV a 30 kV. La sorgente ha una durata di oltre 1000 ore, garantendo operazioni continue fino a 72 ore.
Il nano-manipolatore interno alla camera è a tre assi, azionato piezoelettricamente, con un’accuratezza inferiore a 10 nm e una velocità massima di 2 mm/s.
Il sistema di iniezione di gas (GIS) permette la collaborazione tra fascio elettronico e ionico, con una progettazione a singolo GIS, compatibile con diverse fonti di precursori gassosi. L’inserzione dell’ago è superiore a 35 mm, con una ripetibilità di movimento di ≤10 μm. Il sistema di riscaldamento ha una precisione di ±0,1°C e un range di temperatura fino a 90°C.
Il DB550 è una workstation completa per l’analisi e la nanofabbricazione, dotata di nano-manipolatore integrato, sistema GIS e interfaccia software intuitiva. Offre dunque una soluzione avanzata per applicazioni scientifiche e industriali.