Low energy Electron induced X-ray Emission Spectrometry (LEXES) consists in irradiating a solid sample by a low energy electron beam and analyzing the soft X-rays emitted by the target.
Poiché i raggi X sono caratteristici degli elementi che emettono, si ottiene un’analisi elementale selettiva. La profondità analizzata può essere variata da 1 a 700 nanometri, a seconda di parametri quali elemento, matrice ed energia elettronica primaria.
La modellizzazione precisa dell’interazione elettrone / materia primaria e dell’assorbimento dei raggi X morbidi consente una quantificazione elementare precisa della profondità campionata su una vasta gamma di concentrazioni (dal 100% in% fino a decine di ppm). Gli effetti matrice sono piccoli e ben modellati. Pertanto, sono prontamente disponibili campioni standard (materiali puri o composti stechiometrici).