Il DST2-TG è un sistema di sputter coater ed evaporatore termico progettato per l’uso in glove box. Questo sistema compatto da tavolo combina sputtering ed evaporazione termica in un’unica piattaforma, garantendo un’elevata purezza nella deposizione di film sottili.
Grazie alla sua camera ad alto vuoto, il DST2-TG permette la deposizione di un’ampia gamma di materiali, inclusi semiconduttori, dielettrici e metalli. Il design a doppio target magnetron consente di passare rapidamente tra sputtering ed evaporazione senza interrompere il vuoto, facilitando la realizzazione di rivestimenti multistrato.
L’integrazione con una glove box crea un ambiente protetto, evitando il contatto con aria e umidità. Questo assicura la massima qualità del film sottile e la protezione del substrato in un’atmosfera controllata con gas inerte.
Il DST2-TG è dotato di una camera in Pyrex cilindrica da 300 mm di diametro e di due catodi raffreddati ad acqua da 2 pollici, ideali per deposizioni di lunga durata. Include un turbomolecolare da 90 L/s con supporto di una pompa rotativa a due stadi da 6 m³/h, garantendo un vuoto pulito senza contaminazioni da olio.
L’interfaccia touch-screen a colori da 7” permette di monitorare e controllare il processo di deposizione con un software intuitivo. È possibile visualizzare dati digitali e curve del processo, oltre a salvare le informazioni delle ultime 300 deposizioni.
Il DST2-TG offre due configurazioni per l’integrazione con glove box:
- On-Deck: l’intero sistema è collocato all’interno della glove box, con connessione Wi-Fi per il controllo remoto.
- In-Deck: la camera è integrata nel pavimento della glove box, con pannello di controllo esterno e trasferimento dati via USB.
Il DST2-TG è dunque uno sputter coater con evaporatore termico progettato per glove box, ideale per la deposizione controllata di materiali in alto vuoto.