Il DST3-T è un sistema di sputtering ed evaporazione termica ad alto vuoto, progettato per la deposizione di film sottili su un’ampia gamma di materiali. Grazie alla sua pompa turbomolecolare integrata, garantisce un ambiente privo di contaminazioni, ideale per applicazioni di ricerca e industriali. Il design compatto lo rende perfetto per l’uso su banco, offrendo massima efficienza e facilità d’uso.
Questo sistema è dotato di tre catodi magnetron da 2” raffreddati ad acqua, alimentati da generatori RF e DC. Questi consentono la deposizione di semiconduttori, dielettrici e metalli (ossidanti e nobili). L’utente può passare facilmente dalla modalità di sputtering all’evaporazione termica senza interrompere il vuoto, grazie alla sua configurazione avanzata. La camera di deposizione in Pyrex cilindrico ha un diametro di 300 mm e un’altezza regolabile tra 200 e 250 mm, offrendo grande flessibilità.
Il DST3-T è disponibile in due varianti. Il modello DST3-TA, con catodi inclinati, permette la deposizione simultanea o indipendente da più target, ideale per film multistrato e leghe. Il modello DST3-TS, invece, con catodi dritti, è progettato per il rivestimento uniforme di substrati fino a 20 cm di diametro. Il sistema include un’opzione di piattaforma di evaporazione termica con diverse configurazioni di sorgenti (boat, basket, coil) per garantire una deposizione controllata di vari materiali.
L’utente può migliorare ulteriormente le prestazioni con accessori opzionali, tra cui un plasma cleaner per la rimozione di contaminanti organici e il miglioramento dell’adesione del film. Sono disponibili anche un riscaldatore da 500 °C per ottimizzare la struttura del rivestimento e un bias di 300 V DC per il controllo della crescita del film sottile.
L’interfaccia utente è basata su un touch screen da 7 pollici con software intuitivo, che consente di monitorare e regolare il processo di deposizione in tempo reale. I dati vengono visualizzati sotto forma di grafici e numeri digitali e le ultime 300 deposizioni vengono archiviate per una gestione avanzata della produzione.
Il DST3-T è dunque uno sputter coater ed evaporatore termico ad alto vuoto progettato per garantire depositi di alta qualità, ripetibilità e controllo avanzato in un’unica piattaforma compatta e versatile.