Gli standard di calibrazione EM-Tec M1 e M-10 hanno entrambi un modello a griglia a maglie quadrate inciso sulla superficie di un substrato Si ultra-piatto. I motivi a griglia sono strumenti pratici per la calibrazione dell’ingrandimento e la valutazione della distorsione dell’immagine.
Destinato all’uso con applicazioni di microscopia a luce SEM, FESEM, FIB, Auger, SIMS e luce riflessa. I campioni possono anche essere montati direttamente sul modello; in questo caso il motivo sullo sfondo darà una calibrazione diretta all’interno dell’immagine.
Ciò è particolarmente utile quando si lavora con piccoli campioni e polveri. Gli standard di calibrazione del modello di griglia EM-Tec M1 e M-10 sono forniti con un certificato di tracciabilità a livello di wafer a NIST.