La preparazione del campione per TEM richiede l’assottigliamento del campione così da renderlo trasparente al fascio di elettroni.
L’assottigliamento meccanico del campione deve utilizzare tecniche per evitare la deformazione del campione. L’assottigliamento meccanico viene utilizzato anche prima dell’assottigliamento del fascio ionico per campioni di sezione trasversale.